根据CEMS烟气在线监测系统流程可知，任一环节故障均会导致测量数据异常。当出现数据异常的情况，根据实际情况，做出初步判断，从故障可能性最大的部件开始进行逐项排查，直至设备运行正常。
（1）分析仪零点或量程漂移。分析仪的零点或量程漂移不会直观表现出来，只能通过比对分析，判断是否出现零点或量程漂移。
（2）分析仪显示氧量超过或者低于正常值。出现氧量测量值高出正常值时，检查取样管路是否存在泄漏；氧量低或者无显示时检查氧量传感器是否正常，否则予以更换。
（3）气路中的水分含量大。检查取样探头及伴热管线加热装置工作是否正常；反吹取样管路，排除管路中的水分。
（4）分析仪故障。分析仪损坏除设备老化以外，多为样气预处理不好导致。对分析仪进行维修或更换，同时需检查采样管线加热情况和预处理设备工作情况。